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磁存儲(chǔ)器刻蝕系統(tǒng)

服務(wù)價(jià)格：待定

服務(wù)機(jī)構(gòu)：江蘇魯汶儀器股份有限公司

服務(wù)地區(qū)：邳州經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)遼河西路8號(hào)

服務(wù)范圍：電子信息產(chǎn)業(yè)鏈 高端裝備制造集群

服務(wù)類別：技術(shù)創(chuàng)新和質(zhì)量品牌服務(wù)

江蘇魯汶儀器股份有限公司

所在地市：江蘇省,徐州市,邳州市

機(jī)構(gòu)地址：邳州經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)遼河西路8號(hào)

聯(lián) 系 人：(請(qǐng)登錄后查看)

電 話：18817835164

  • 詳細(xì)介紹

     LMEC-300 / LMEC-200

    l  在一個(gè)真空平臺(tái)系統(tǒng)中集成了RIE,、IBE,、in-situ沉積腔室,，可實(shí)現(xiàn)磁隧道結(jié)和其它難于形成揮發(fā)性產(chǎn)物的金屬/合金疊層的等離子體刻蝕,、干法清洗和原位鈍化保護(hù)

    l  可提供不同工藝解決方案,，滿足磁存儲(chǔ)器,、磁傳感器,、超導(dǎo)、相變存儲(chǔ)器等新型材料的圖形化需求

    l  可實(shí)現(xiàn)20nm及以下的密集器件圖形化

    l  適用于12英寸/8英寸晶圓

     


     


  • 專利介紹
  • 專業(yè)團(tuán)隊(duì)
  • 研究方向
  • 專業(yè)資質(zhì)
  • 榮譽(yù)
  • 對(duì)接狀態(tài)